无尘车间里，郭连生的团队正在拆卸蚀刻机的外壳，工人们都阴沉着脸，一声不吭的在干活。
“许董，看样子国产等离子发生器的质量不行，换到老外的主机系统上根本不配套。”看到许振鸣走来，郭连生摘下口罩朝许振鸣苦笑着摇头。
对于蚀刻机这种高精尖的机电一体化产品，许振鸣也已经是外行人了。蚀刻机用等离子光束清洗光刻胶，肉眼只能看到一束光在硅晶圆片上扫射，除非用高精度电子显微镜才能看到部分硅晶圆片的电路蚀刻情况。
故此，许振鸣没有不懂装懂，而是皱着眉头问道：“你认为这是机械问题，还是控制问题，或者是系统问题？”
按照许振鸣的理解，郭连生的团队在试验之前，应该用国产蚀刻机做过一些调试实验。他想知道用国产蚀刻机来蚀刻芯片电路的时候是否稳定，是否有过成功的案例。
“有是有过，但很不稳定。有时可以做到130纳米，有的时候就做不到。所以我们采用替换法来找原因。”
“那你们离成功还远的很呐。”许振鸣不由得的一挥手，示意郭连生应该冷静下来，召开技术讨论会，探讨一下国产蚀刻机不稳定的故障缘由。
见老板如此吩咐，郭连生朝几位带着眼镜的工程师招了招手，“都停下来，咱们去会议室开会。”
不多久，众人来到无尘车间内的一个内部小会议室，大家在无影灯下的小会议桌围坐一圈。
“你们先说说，咱们国产蚀刻机不稳定的真正原因在哪儿？”待众人都入座之后，郭连生脸色阴沉的朝手下的工程师们扫了一眼。
“许董，我认为咱们研发的思路有点问题。蚀刻机的研发应该走逐步国产之路。”
“我以为小王说得对。咱们应该先做蚀刻机的核心部件等离子发生器，然后再做主机系统。至于自动化控制系统，那是咱们的强项，不再考虑之列。”
“等离子发生器不是已经做了好吗？关键这套系统的光源不稳定呀！”
受到打击的工程师们都有点灰心丧气，认为问题就出在等离子发生器的身上。
等离子发生器是郝宁教授团队的作品，但机械部分却又是洪爱国团队的配合。这下需要郝宁教授跟洪爱国派人来检查原因了。
听到这番议论，郭连生的脸色就跟难看，“咱们不能推卸责任。这故障本来就应该我们负责检查和调试的。”
在他看来，光源部分的系统郝宁教授已经做过很多次试验，而且已经拍胸部保证没问题，不会出现等离子束不稳定的事情；洪爱国团队制造的基座、支架等都用最先进的数控机床全机加工而成，精度肯定没问题。
那么出现今天这种情况，以及前面几次试验的故障情况等，统统都是他们半导体装备制造公司设计，或者组装调试出了问题。
听完这个小故事，许振鸣总算搞明白是咋回事了。
本章结束